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集成电手艺工程 消息工程学院 刻蚀手艺 ? ? 刻蚀

2019-09-26
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  集成电手艺工程 消息工程学院 刻蚀手艺 ? ? ? ? 刻蚀手艺概述 湿法刻蚀手艺及道理 干法可刻蚀手艺及道理 刻蚀手艺新进展 一、刻蚀手艺概述 1. 刻蚀引见 (1)刻蚀的概念 (2)刻蚀的目标 (3)刻蚀的要求 (4)刻蚀工艺的品种 一、刻蚀手艺概述 2. 刻蚀参数 (1)刻蚀速度 一、刻蚀手艺概述 2. 刻蚀参数 (2)刻蚀剖面 一、刻蚀手艺概述 2. 刻蚀参数 (3)刻蚀误差 一、刻蚀手艺概述 2. 刻蚀参数 (4)刻蚀选择比 二、湿法刻蚀手艺及道理 1. 湿法刻蚀工艺参数 二、湿法刻蚀手艺及道理 2. 湿法刻蚀二氧化硅 HF → H+ + FSiO2 + 6HF = H2(SiF6) + 2H2O ? ? ? ? ? 光刻胶取二氧化硅的粘附 二氧化硅的性质 二氧化硅的杂质 刻蚀温度 刻蚀时间 二、湿法刻蚀手艺及道理 3. 湿法刻蚀硅 Si + 4HNO3 → SiO2 + 2H2O + 4NO2↑ SiO2 + 6HF → H2(SiF6) + 2H2O 4. 湿法刻蚀铝 2Al + 6HNO3 = Al2O3 + 3H2O + 6NO2↑ Al2O3 + 2H3PO4 = 2AlPO4 + 3H2O 二、湿法刻蚀手艺及道理 5. 湿法刻蚀铬 2Cr + 6Ce(SO4)2 → 3Ce2 (SO4)3 + Cr2 (SO4)3 6KMnO4 + 2Cr + 8NaOH → 3K2MnO4 + 3Na2MnO4 +….. 三、干法刻蚀手艺及道理 1. 干法刻蚀道理 三、干法刻蚀手艺及道理 1. 干法刻蚀道理 三、干法刻蚀手艺及道理 2. 等离子体概述 (1)等离子体的概念 (2)等离子体的发生体例 ? 气体放电法 ? 射线辐照法 ? 光电离法 ? 激光等离子体 ? 热电离法 三、干法刻蚀手艺及道理 3. 刻蚀设备布局 (1)桶式布局 三、干法刻蚀手艺及道理 3. 刻蚀设备布局 (2)平板布局 三、干法刻蚀手艺及道理 3. 刻蚀设备布局 (3)三极平面布局 三、干法刻蚀手艺及道理 4. 干法刻蚀设备 (1)反映离子刻蚀机(RIE) 三、干法刻蚀手艺及道理 4. 干法刻蚀设备 (1)反映离子刻蚀机(RIE) 三、干法刻蚀手艺及道理 4. 干法刻蚀设备 (2)强化反映离子刻蚀机(MERIE) 三、干法刻蚀手艺及道理 4. 干法刻蚀设备 (3)高密度等离子体刻蚀机 三、干法刻蚀手艺及道理 4. 干法刻蚀设备 (3)高密度等离子体刻蚀机 三、干法刻蚀手艺及道理 4. 干法刻蚀设备 (3)高密度等离子体刻蚀机 三、干法刻蚀手艺及道理 4. 刻蚀起点检测 (1)光学放射频谱阐发 (2)激光丈量 (3)质谱阐发 三、干法刻蚀手艺及道理 5. 干法刻蚀使用 (1)单晶硅 三、干法刻蚀手艺及道理 5. 干法刻蚀使用 (2)多晶硅 三、干法刻蚀手艺及道理 5. 干法刻蚀使用 (3)氧化物介质 三、干法刻蚀手艺及道理 5. 干法刻蚀使用 (4)金属 四、刻蚀手艺新进展 研讨5: 软刻蚀手艺及其使用进展

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