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比方用氢氧化钠、氢氧化钾等碱金属的物或季铵

2019-09-19
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  干法刻蚀的刻蚀剂是等离子体,是操纵等离子体和概况薄膜反映,构成挥发性物质,或间接轰击薄膜概况使之被侵蚀的工艺。

  各向同性刻蚀:刻蚀剂从基片概况向下侵蚀的速度取正在其他各标的目的大致不异,这种刻蚀成为各向同性刻蚀。例如含氢氟酸的溶液刻蚀玻璃和石英就是各向同性的。

  各向同性刻蚀:刻蚀剂正在某一标的目的的刻蚀速度弘远于其他标的目的时,就是各向同性刻蚀。例如用氢氧化钠、氢氧化钾等碱金属的氢氧化物或季铵盐刻蚀硅片时是各向同性的。

  是通过化学刻蚀液和被刻蚀物质之间的化学反映将被刻蚀物质剥离下来的刻蚀方式。大大都湿法刻蚀是不容易节制的各向同性刻蚀。

  标签:湿刻蚀干刻蚀点击次数:更新时间:2014-07-29 09:55:39【打印此页】【封闭】上一条:芯的明天-上海汶昌科技下一条:微泵的分类和其机能